EUV

• 2025年11月9日

半導体製造の要②「露光」と最先端EUVの進化

リソグラフィの中で「露光」 に焦点を当てます。露光とは何か、どのような光源が使われてきたのか、そして現在の最先端技術である EUVリソグラフィ へと進化してきた背景を整理します。